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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Tang Longjuan;  Zhu Yinfang;  Yang Jinling;  Li Yan;  Zhou Wei;  Xie Jing;  Liu Yunfei;  Yang Fuhua
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采用13.56MHz射频功率源淀积氮化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081224.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  李艳;  杨富华;  唐龙娟;  朱银芳
Adobe PDF(311Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1712/262  |  提交时间：2011/08/31