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在硅波导上刻槽制备硅基混合激光器的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-08-15
发明人:  于红艳;  周旭亮;  邵永波;  袁丽君;  王宝军;  潘教青;  王圩
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