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一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  杨晋玲;  吕兴东;  魏伟伟;  张金英;  杨富华
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一种基于微机电技术的M×N光交换阵列 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  张金英;  吕兴东;  杨晋玲;  杨富华
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一种围栅无结纳米线晶体管的制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  马刘红;  韩伟华;  付英春;  洪文婷;  吕奇峰;  杨富华
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