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利用密封石英玻璃管实现不同材料晶片键合的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  杨国华;  孙永伟;  何国荣;  肖雪芳
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激光光束匀化装置 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-12-12
发明人:  曾华林;  何军;  李丽艳;  范松涛;  佟有万;  雷平顺;  周燕
Adobe PDF(167Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：950/130  |  提交时间：2014/10/28
激光光束匀化装置 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-12-12
发明人:  曾华林;  何军;  李丽艳;  范松涛;  佟有万;  周燕
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