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采用氢氧化铵腐蚀液制备V型槽砷化镓图形衬底的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-01-16, 2010-08-12
发明人:  鞠研玲;  杨晓红;  韩 勤
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一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 3998
发明人:  李文兵;  韩 勤;  秦 龙;  杨晓红;  倪海乔;  杜 云;  朱 彬;  鞠研玲
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一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200810225784.2, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  秦龙;  韩勤;  杨晓红;  朱彬;  鞠研玲;  李文兵
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