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一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200810225784.2, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  秦龙;  韩勤;  杨晓红;  朱彬;  鞠研玲;  李文兵
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