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一种高效热调谐共振腔增强型探测器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-08-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  毛容伟;  成步文;  左玉华;  余金中;  王启明
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高效微机械可调谐共振腔增强型探测器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-08-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  毛容伟;  成步文;  左玉华;  余金中;  王启明
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