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Fabrication of Nano-structured VOx Film by Low Temperature Ion Beam Sputtering and Reductive Annealing 会议论文
2008 2ND IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE, Shanghai, PEOPLES R CHINA, MAR 24-27, 2008
作者:  Wang XD;  Li GK;  Liang JR;  Ji A;  Hu M;  Yang FH;  Liu J;  Wu NJ;  Chen HD;  Wang, XD, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Engn Res Ctr Semicond Integrated Technol, Beijing 100083, Peoples R China.
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V2o5 Thin-films