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一种用于氮化物半导体材料退火的新型加热衬托 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2006-09-20, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王晓亮;  冉军学;  李建平;  胡国新;  王军喜;  曾一平;  李晋闽
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MOCVD GaN基微电子材料及器件研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2006
作者:  冉军学
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