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作者:  Liu JQ (Liu Junqi);  Kong N (Kong Ning);  Li L (Li Lu);  Liu FQ (Liu Fengqi);  Wang LJ (Wang Lijun);  Chen JY (Chen Jianyan);  Wang ZG (Wang Zhanguo);  Liu, JQ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: jqliu@semi.ac.cn
Adobe PDF(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1210/372  |  提交时间：2010/07/18