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分布反馈半导体激光器中光栅的干法刻蚀制作工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-06-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  付生辉;  宋国锋;  陈良惠
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双区分布布拉格反射镜半导体激光器结构和制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-06-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  付生辉;  钟源;  宋国锋;  陈良惠
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用于半导体激光器中光栅制作的腐蚀液及制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-11-28, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  付生辉;  钟源;  陈良惠
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波长为852nm的分布反馈激光器的结构和制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-11-28, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  付生辉;  钟源;  陈良惠
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一种微机械可调谐光滤波器 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-01-04, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  侯识华;  潭满清;  陈良惠
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