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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Cao LX (Cao Li-Xin);  Zhang FX (Zhang Feng-Xin);  Zhu YF (Zhu Yin-Fang);  Yang JL (Yang Jin-Ling);  Cao, LX, Chinese Acad Sci, Inst Phys, Natl Lab Superconduct, Beijing 100190, Peoples R China. 电子邮箱地址: lxcao@aphy.iphy.ac.cn
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采用13.56MHz射频功率源淀积氮化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081224.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  李艳;  杨富华;  唐龙娟;  朱银芳
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