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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中国科学院半导体研究... [1]
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文献类型
专利 [1]
发表日期
1990 [1]
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一种微区敷膜技术与装置
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 1990-01-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
孙安纳
;
崔莉
;
张智宏
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提交时间：2009/06/11
