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一种扫描探针及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
发明人:  杨晋玲;  何欢;  张金英;  杨富华
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一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  杨晋玲;  吕兴东;  魏伟伟;  张金英;  杨富华
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一种基于微机电技术的M×N光交换阵列 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  张金英;  吕兴东;  杨晋玲;  杨富华
Adobe PDF(402Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/2  |  提交时间：2016/09/22
集成超声换能器的AFM探针阵列 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  何欢;  张金英;  杨晋玲;  杨富华
Adobe PDF(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/2  |  提交时间：2016/09/22