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氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
Adobe PDF(13476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：541/14  |  提交时间：2019/11/18
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：962/55  |  提交时间：2015/06/02
氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
m面蓝宝石上外延半极性GaN研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
作者:  羊建坤
Adobe PDF(5426Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1108/79  |  提交时间：2014/06/03