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ICP干法刻蚀工艺制备剖面为正梯形的台面的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-08-21
发明人:  徐晓娜;  胡传贤;  樊中朝;  王晓东;  杨富华
Adobe PDF(1075Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：932/82  |  提交时间：2014/11/17