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Fabrication method of silicon nanostructures by anisotropic etching 会议论文
2008 5TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICS, Sorrento, ITALY, SEP 17-19, 2008
作者:  Han, WH;  Yang, X;  Wang, Y;  Yang, FH;  Yu, JZ;  Han, WH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China.
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