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一种制备半导体衬底的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2001-04-04, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  杨沁清;  李成;  欧海燕;  王红杰;  王启明
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  欧海燕;  雷红兵;  杨沁清;  王红杰;  王启明;  胡雄伟
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