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4H-SiC基AlN栅介质原子层沉积生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  陈俊
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yu Liu;   Hao-tian Bao;   Yi-ming Zhang;   Zhi-ke Zhang;   Yun-shan Zhang;   Xiang-fei Chen;   Jun Lu;   Yue-chun Shi;   Jia-shun Zhang;   Liang-liang Wang;   Jun-ming An ;   Ning-hua Zhu
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