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一种生长二氧化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-07-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王晓东;  季安;  邢波;  杨富华
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短小光波导芯片的测量方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-12-26, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  余和军;  余金中;  邢波
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一种复合膜片压力传感器结构 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200810224110.0, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  王晓东;  樊中朝;  季安;  邢波;  杨富华
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