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MOEMS垂直腔可调谐光电器件的理论模拟及关键工艺的探索 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008
Authors:  李文兵
Adobe PDF(2443Kb)  |  Favorite  |  View/Download:863/24  |  Submit date:2009/04/13