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一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 3998
发明人:  李文兵;  韩 勤;  秦 龙;  杨晓红;  倪海乔;  杜 云;  朱 彬;  鞠研玲
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MOEMS垂直腔可调谐光电器件的理论模拟及关键工艺的探索 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008
作者:  李文兵
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  李文兵;  韩勤;  杨晓红;  朱彬
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  朱彬;  韩勤;  杨晓红;  李文兵
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