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微机电系统薄膜材料力学性能与可靠性测试方法和装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-09-02, 公开日期: 4005
发明人:  杨晋玲;  周 威;  杨富华 
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微机电系统薄膜材料和悬臂梁结构的力学性能与可靠性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2009
作者:  周威
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