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同步实现阻止GaAs盖层氧化和提高氧化层热稳定性的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-25
发明人:  周文飞;  徐波;  叶小玲;  张世著;  王占国
Adobe PDF(1356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：727/65  |  提交时间：2014/10/31