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绝缘体上硅的缓变阶梯型波导光栅耦合器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010283558.7, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  周亮;  李智勇;  俞育德;  余金中
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绝缘体上硅的波导光栅耦合器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010283556.8, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  周亮;  李智勇;  俞育德;  余金中
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