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反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 420
Authors:  陆建祖;  魏红振;  李玉鉴;  张永刚;  林世鸣;  余金中;  刘忠立
Adobe PDF(358Kb)  |  Favorite  |  View/Download:844/268  |  Submit date:2010/11/23