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金属薄膜与半导体的反应——Co-Si多层膜，LREM硅化物薄膜，TiN/n-GaAs体系 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 1993
作者:  何杰
Adobe PDF(6279Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：747/15  |  提交时间：2009/04/13