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一种纳米尺寸空气槽的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-06, 公开日期: 3993
发明人:  屠晓光;  陈少武 
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一种纳米尺寸三角形空气槽的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-12-17, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  屠晓光;  陈少武
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一种制作纵向双栅金属-氧化物-半导体器件的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-05-07, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  屠晓光;  陈少武
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一种硅基并联MOS电容结构高速电光调制器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-02-07, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  屠晓光;  陈少武
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