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高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
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新型阵列级联耦合结构AlN谐振器的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张萌
Adobe PDF(3003Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：573/36  |  提交时间：2016/05/26