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In situ doping of 3C-SiC grown on (0001) sapphire substrates by LPCVD 会议论文
SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2001, PTS 1 AND 2, PROCEEDINGS, 389-3, TSUKUBA, JAPAN, OCT 28-NOV 02, 2001
作者:  Sun GS;  Luo MC;  Wang L;  Zhu SR;  Li JM;  Zeng YP;  Lin LY;  Sun GS Chinese Acad Sci Inst Semicond Beijing 100083 Peoples R China.
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3c-sic  In-situ Doping  Low-pressure Cvd  Sapphire Substrate  Chemical-vapor-deposition  Competition Epitaxy