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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中国科学院半导体研究... [1]
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专利 [1]
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2009 [1]
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文献类型：专利
发表日期：2009
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实现超高真空半导体外延片解理和腔面多层镀膜的系统
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-09-02, 公开日期: 4005
发明人:
宋国峰
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提交时间：2010/03/19
