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与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究 期刊论文
高技术通讯, 2006, 卷号: 16, 期号: 9, 页码: 985-989
Authors:  刘海军;  高鹏;  陈弘达;  顾明;  许奇明;  刘金彬;  黄北举
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