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半绝缘 InP 单晶衬底表面缺陷与杂质 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2013
作者:  刘京明
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电子束光刻技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 1999
作者:  刘明
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