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提高硅薄膜致密性的制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-03-28, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  谭满清;  赵妙
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  赵妙;  谭满清;  周代兵;  吴旭明;  王晓东
Adobe PDF(343Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：936/376  |  提交时间：2010/11/23