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MOEMS垂直腔可调谐光电器件的理论模拟及关键工艺的探索 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008
作者:  李文兵
Adobe PDF(2443Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1079/24  |  提交时间：2009/04/13