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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hai-Ming Ji;  Baolai Liang;  Paul J. Simmonds;  Bor-Chau Juang;  Tao Yang;  Robert J. Young;  Diana L.Huffaker
Adobe PDF(1308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/0  |  提交时间：2016/03/22
无权访问的条目 期刊论文
作者:  J. Yang;  D. G. Zhao;  D. S. Jiang;  P. Chen;  J. J. Zhu;  Z. S. Liu;  L. C. Le;  X. J. Li;  X. G. He;  J. P. Liu;  H. Yang;  Y. T. Zhang;  G. T. Du
Adobe PDF(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：483/1  |  提交时间：2016/03/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  J. Yang;  D.G. Zhao;  D.S. Jiang;  P. Chen;  J.J. Zhu;  Z.S. Liu;  L.C. Le;  X.G. He;  X.J. Li;  H. Yang;  Y.T. Zhang;  G.T. Du
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Sangwook Lee;  Fan Yang;  Joonki Suh;  Sijie Yang;  Yeonbae Lee;  Guo Li;  Hwan Sung Choe;  Aslihan Suslu;  Yabin Chen Changhyun Ko Joonsuk Park Kai Liu;  Jingbo Li;  Kedar Hippalgaonkar;  Jeffrey J. Urban;  Sefaattin Tongay;  Junqiao Wu
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  W. Liu;  D. G. Zhao;  D. S. Jiang;  P. Chen;  Z. S. Liu;  J. J. Zhu;  M. Shi;  D. M.Zhao;  X. Li;  J. P. Liu;  S. M. Zhang;  H. Wang;  H. Yang;  Y. T. Zhang;  G. T.Du
Adobe PDF(1377Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：242/1  |  提交时间：2016/03/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  X. LI;  Z. S. LIU;  D. G. ZHAO;  D. S. JIANG;  P. CHEN;  J. J. ZHU;  J. YANG;  L. C. LE;  W. LIU;  X. G. HE;  X. J. LI;  F. LIANG;  L. Q. ZHANG;  J. Q. LIU;  H. YANG
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  P. Chen;  D.G. Zhao;  D.S. Jiang;  J.J. Zhu;  Z.S. Liu;  L.C. Le;  J. Yang;  X. Li;  L. Q. Zhang;  J.P. Liu;  S.M. Zhang;  H. Yang
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Y. P. Cao;  Y. Y. Wang;  Z. X. Geng;  J. Liu;  Y. P. Yang;  H. D. Chen
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