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新型EA调制器研究及V槽硅基平台设计 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2006
作者:  杨华
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CVD系统的统一模型(Si-H-Cl外延系统流体力学化学热力学统一模型计算) 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 1999
作者:  杨辉
Adobe PDF(2550Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：733/22  |  提交时间：2009/04/13