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提高n型硅原位掺杂载流子浓度的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2004-09-22, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  成步文
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  姚飞;  成步文
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