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氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  侯云虹
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新型阵列级联耦合结构AlN谐振器的研制 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张萌
Adobe PDF(3003Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：576/36  |  提交时间：2016/05/26
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：983/55  |  提交时间：2015/06/02
氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
无权访问的条目 学位论文
作者:  李迪
Adobe PDF(2778Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/2  |  提交时间：2015/05/29