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Metal-free growth of Si/SiO2 nanowires by annealing SiOx (x < 2) films deposited by PECVD 会议论文
Group-IV Semiconductor Nanostructures丛书标题: MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIUM PROCEEDINGS, Boston, MA, NOV 29-DEC 02, 2004
作者:  Wang, XX;  Zhang, JG;  Wang, QM;  Wang, XX, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Silicon Nanowires