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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Tong, Xin; Chen, Miao; Yang, Fuhua
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Chen, Miao; Zeng, Liuwen; Tong, Xin; Li, Zhaofeng; Wang, Xiaodong; Yang, Fuhua
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| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 张萌
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| 基于MEMS惯性传感器的行人导航算法研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 童鑫
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Jiangtao Wei; Liangliang Yang; Zhe Ma; Peishuai Song; Mingliang Zhang; Jing Ma; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Xin Tong; Yan Su; Zhaofeng Li; Chaowei Si; Guowei Han; Jin Ning; Fuhua Yang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Peishuai Song; Zhe Ma; Jing Ma; Liangliang Yang; Jiangtao Wei; Yongmei Zhao; Mingliang Zhang; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Meng Zhang; Jian Yang ; Yurong He ; Fan Yang ; Fuhua Yang ; Guowei Han ; Chaowei Si; Jin Ning
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