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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：172/1  |  提交时间：2023/07/03
血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：252/1  |  提交时间：2023/07/03
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：259/2  |  提交时间：2022/07/15
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/2  |  提交时间：2022/07/25
无权访问的条目 学位论文
作者:  杨冲
Adobe PDF(4237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2021/06/17
Cu2Se 纳米薄膜制备及其热电性能研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  杨亮亮
Adobe PDF(8890Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：325/1  |  提交时间：2021/06/17
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/3  |  提交时间：2021/06/18
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, Taonan;   Liu, Runcong;   Yang, Jinling;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(1927Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Ma, Zhe;   Wei, Jiangtao;   Song, Peishuai;   Zhang, Mingliang;   Yang, Liangliang;   Ma, Jing;   Liu, Wen;   Yang, Fuhua;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(11539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/12/29