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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
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作者: Ma, Dongfeng; Mao, Shengcheng; Teng, Jiao; Wang, Xinliang; Li, Xiaochen; Ning, Jin; Li, Zhipeng; Zhang, Qing; Tian, Zhiyong; Wang, Menglong; Zhang, Ze; Han, Xiaodong
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作者: Ma, Zhe; Wei, Jiangtao; Song, Peishuai; Zhang, Mingliang; Yang, Liangliang; Ma, Jing; Liu, Wen; Yang, Fuhua; Wang, Xiaodong
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作者: Jiangtao Wei; Liangliang Yang; Zhe Ma; Peishuai Song; Mingliang Zhang; Jing Ma; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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作者: Zeng Liu; Shan Li; Zuyong Yan; Yuanyuan Liu; Yusong Zhi; Xia Wang; Zhenping Wu; Peigang Li ; Weihua Tang
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作者: Peishuai Song; Zhe Ma; Jing Ma; Liangliang Yang; Jiangtao Wei; Yongmei Zhao; Mingliang Zhang; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Peishuai Song; Chaowei Si; Mingliang Zhang; Yongmei Zhao; Yurong He; Wen Liu; Xiaodong Wang
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作者: Tianzhao Bu; Liang Xu; Zhiwei Yang; Xiang Yang; Guoxu Liu; Yuanzhi Cao; Chi Zhang ; Zhong Lin Wang
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Liangliang Yang; Jiangtao Wei ; Zhe Ma ; Peishuai Song; Jing Ma ; Yongqiang Zhao; Zhen Huang ; Mingliang Zhang ; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang
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| 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者: 杨健
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氮化铝 Mems 谐振器 有限单元法 压电系数测试 Icp刻蚀 |
