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| STUDY OF MICROSTRUCTURE AND DEFECTS IN HYDROGENATED MICROCRYSTALLINE SILICON FILMS 会议论文
, Philadelphia, PA, 2009
作者: Peng WB (Peng Wenbo); Zeng XB (Zeng Xiangbo); Liu SY (Liu Shiyong); Xiao HB (Xiao Haibo); Kong GL (Kong Guanglin); Yu YD (Yu Yude); Liao XB (Liao Xianbo)
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作者: Ma SS (Ma Shan-Shan); Wang, BR (Wang Bao-Rui); Sun BQ (Sun Bao-Quan); Wu DH (Wu Dong-Hai); Ni HQ (Ni Hai-Qiao); Niu ZC (Niu Zhi-Chuan); Ma, SS, Chinese Acad Sci, SKLSM, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: bqsun@semi.ac.cn
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作者: Pan SD; Zhao LN; Yuan Y; Zhu SN; He JL; Wang YG; Pan SD Nanjing Univ Natl Lab Solid State Microstruct Nanjing 210093 Peoples R China. E-mail Address: psd66zx@163.com
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作者: Zhang B; Chen J; Wang X; Wu AM; Luo JX; Zhang MA; Wu YX; Zhu JJ; Yang H; Zhang B Chinese Acad Sci Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol State Key Lab Funct Mat Informat Shanghai 200050 Peoples R China. E-mail Address: bozhang@mail.sim.ac.cn
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作者: Liu Y; Li Y ; Fan ZC; Xing B; Yu YD; Yu JZ; Liu Y Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: liuyan@semi.ac.cn
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作者: Sun LL; Yan FW; Wang JX; Zhang HX; Zeng YP; Wang GH; Li JM; Sun LL Chinese Acad Sci Inst Semicond Semicond Lighting Technol Res & Dev Ctr Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: lilisun@semi.ac.cn
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作者: Gai YQ; Li JB; Hou QF; Wang XL; Xiao HL; Wang CM; Li JM; Li JB Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Superlattices & Microstruct POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: jbli@semi.ac.cn
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作者: Lu J; Meng HJ; Deng JJ; Xu PF; Chen L; Zhao JH; Jia QJ; Zhao JH Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Superlattices & Microstruct POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: jhzhao@red.semi.ac.cn
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作者: Song HP; Yang AL; Zhang RQ; Guo Y; Wei HY; Zheng GL; Yang SY; Liu XL; Zhu QS; Wang ZG; Song HP Chinese Acad Sci Kev Lab Semicond Mat Sci Inst Semicond POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: songhp@semi.ac.cn; xlliu@semi.ac.cn; qszhu@semi.ac.cn
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作者: Li MC; Qiu YX; Liu GJ; Wang YT; Zhang BS; Zhao LC; Li MC Harbin Inst Technol Sch Mat Sci & Engn POB 405 Harbin 150001 Peoples R China. E-mail Address: mcli@hit.edu.cn
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