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作者: Liu JM; Liu XL; Li CM ; Wei HY; Guo Y; Jiao CM; Li ZW; Xu XQ; Song HP; Yang SY; Zhu QS; Wang ZG; Yang AL; Yang TY; Wang HH; Liu, JM, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. liujianming@semi.ac.cn; xlliu@semi.ac.cn
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作者: Shi K; Yang AL; Wang J; Song HP; Xu XQ; Sang L; Wei HY; Yang SY; Liu XL; Zhu QS; Wang ZG; Shi, K, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. shikai@semi.ac.cn; xlliu@semi.ac.cn
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作者: Yang AL; Song HP; Liu XL; Wei HY; Guo Y; Zheng GL; Jiao CM; Yang SY; Zhu QS; Wang ZG; Yang AL Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: alyang@semi.ac.cn; xlliu@semi.ac.cn
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作者: Yang AL; Song HP; Liu XL; Wei HY; Guo Y; Zheng GL; Jiao CM; Yang SY; Zhu QS; Wang ZG; Yang AL Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: alyang@semi.ac.cn; xlliu@semi.ac.cn
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作者: Xu XQ; Liu XL; Yang SY; Liu JM; Wei HY; Zhu QS; Wang ZG; Xu XQ Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: xlliu@red.semi.ac.cn; qszhu@semi.ac.cn
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作者: 胡卫国; 魏鸿源; 焦春美; 康亭亭; 张日清; 刘祥林
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