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面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  宋培帅
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基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/0  |  提交时间：2021/06/16
脉冲激光退火制备Ni/SiC欧姆接触 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  刘敏
Adobe PDF(2348Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：834/36  |  提交时间：2016/05/26
脉冲激光退火  Sic欧姆接触  数值模拟  接触特性