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| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 尤志伟
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 黄镇
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
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| 集成天线的氮化镓基高电子迁移率晶体管太赫兹波探测器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 张博文
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| 氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者: 侯云虹
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 柳瑞丛
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| 纳米尺度相变存储器新结构及关键工艺研发 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 付英春
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