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4H-SiC基AlN栅介质原子层沉积生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  陈俊
Adobe PDF(13269Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：449/8  |  提交时间：2019/11/19