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| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文 工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 尤志伟 Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:298/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:278/2  |  提交时间:2022/07/15 |
| 基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 黄镇 Adobe PDF(43171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:309/5  |  提交时间:2022/07/15 |
| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞 Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:396/2  |  提交时间:2022/07/25 |
| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅 Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:365/3  |  提交时间:2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/0  |  提交时间:2021/06/16 |
| 集成天线的氮化镓基高电子迁移率晶体管太赫兹波探测器研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 张博文 Adobe PDF(6506Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:623/17  |  提交时间:2019/11/18 |