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Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张硕
Adobe PDF(3543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：852/197  |  提交时间：2016/06/12
Aln  溅射法  Si（100）衬底  氧污染  椭偏测量